半导体领域中华赐材料的应用
半导体溅射靶材

铜溅射靶材在半导体集成电路中具有重要地位,14nm以上半导体采用高纯铜溅射靶材,14nm 以下半导体采用高纯铜合金溅射靶材。华赐科技的高纯铜材料因其材料纯度高、电阻很低,对芯片集成度的提高非常有效通常靶材为多晶结构晶粒大小可由微米到毫米量级。同一成分的靶材细小尺寸晶粒靶材的溅射速率要比粗晶粒快而晶粒尺寸相差较小的靶材淀积薄膜的厚度分布也较均匀。


溅射靶材具有高纯度、高密度、多组元、晶粒均匀等特点,一般由靶坯和背板组成。靶坯属于溅射靶材的核心部分,是高速离子束流轰击的目标材料。靶坯被离子撞击后,其表面原子被溅射飞散出来并沉积于基板上制成电子薄膜。由于高纯度金属强度较低,因此溅射靶材需要在高电压、高真空的机台环境内完成溅射过程。超高纯金属的溅射靶坯需要与背板通过不同的焊接工艺进行接合,背板起到主要起到固定溅射靶材的作用,且需要具备良好的导电、导热性能。


高纯铜键合丝

高纯铜键合丝,主要用于半导体芯片封装引脚连接,包括集成电路,大型积体晶片和晶体管,满足不同类型的包装 DIP、SIP、QFP BGA的封装。高纯铜键合丝常以华赐科技的高纯电解铜板为原料,经真空熔化后拉制成不同规格尺寸键合丝。高纯铜导电率高,支持高速信号,优异的力学性能和加工性能。对比金丝在满足需求的情况下,显著降低成本,成为市场主要的键合丝材料。